空氣污染防制

采鈺公司空氣污染防制處理能力,符合臺灣「半導體製造業空氣污染物管制及排放標準」及「固定污染源空氣污染物排放標準」相關規定。為確保污染防制設備24小時與365天的穩定運轉,所有的空污防制設備均至少設置一套備援系統(N+1設計)並以直流備援系統避免電力中斷,藉此達到防制設備零失效的管理目的,確保穩定且持續的污染監控。除此之外,采鈺公司亦建置自動監測設施,隨時掌握各系統的廢氣處理成效,相關資訊同時回報給廠務值班台及工安環保緊急應變中心,以雙軌獨立監控體系運作,確保煙囪排放氣體符合規範。

采鈺公司空氣污染物主要分為酸鹼性氣體及揮發性有機氣體二大類,空氣污染防制策略採用「排氣源頭分流」搭配「多段處理系統之最佳可行技術」,使污染物含量符合(優於)政府環保法令的規定。第一階段排氣源頭分流係依據製程特性針對腐蝕性、易燃性、溫室氣體全氟化物等酸鹼性製程排氣,增設高效能現址式空氣處理設備(Local Scrubber)有效處理製程排氣,最後再將無機酸鹼之氣體送至中央式處理設備(Central Scrubber)進行第二階段水洗中和之末端防制設備處理;而揮發性有機氣體則依沸點判斷是否加裝冷凝式現址式處理設備,再將製程排氣送至沸石濃縮轉輪系統處理,透過源頭分流及二階段串聯處理後,全面提升空氣排放處理效率。

空氣污染物排放總量