采鈺公司空氣污染防制處理能力，符合臺灣「半導體製造業空氣污染物管制及排放標準」及「固定污染源空氣污染物排放標準」相關規定。為確保污染防制設備24小時與365天的穩定運轉，所有的空污防制設備均至少設置一套備援系統(N+1設計)並以直流備援系統避免電力中斷，藉此達到防制設備零失效的管理目的，確保穩定且持續的污染監控。除此之外，采鈺公司亦建置自動監測設施，隨時掌握各系統的廢氣處理成效，相關資訊同時回報給廠務值班台及工安環保緊急應變中心，以雙軌獨立監控體系運作，確保煙囪排放氣體符合規範。
采鈺公司空氣污染物主要分為酸鹼性氣體及揮發性有機氣體二大類，空氣污染防制策略採用「排氣源頭分流」搭配「多段處理系統之最佳可行技術」，使污染物含量符合(優於)政府環保法令的規定。第一階段排氣源頭分流係依據製程特性針對腐蝕性、易燃性、溫室氣體全氟化物等酸鹼性製程排氣，增設高效能現址式空氣處理設備(Local Scrubber)有效處理製程排氣，最後再將無機酸鹼之氣體送至中央式處理設備(Central Scrubber)進行第二階段水洗中和之末端防制設備處理；而揮發性有機氣體則依沸點判斷是否加裝冷凝式現址式處理設備，再將製程排氣送至沸石濃縮轉輪系統處理，透過源頭分流及二階段串聯處理後，全面提升空氣排放處理效率。
為提升有機排氣中央處理廢氣系統削減率，自2021年底起逐年編列預算汰換沸石轉輪，並於2023年完成兩組舊有設備汰換為高效率沸石轉輪，因此采鈺公司歷年檢測結果空污排放均符合(優於)環保署訂定之排放標準。在預警機制的控管及即時的應變下，2023年無因污染物排放異常事件通報主管機關。
空氣污染物排放總量
註 1：2023年新增龍潭廠，中壢廠之空污排放於租賃合併處理不列入計算。
註 2：新竹廠2019年未檢測原因為合併2020年試車檢測。SOx、NOx依法規要求，5年檢測一次，故龍潭廠2023年未檢測。
註 3：因應製程所需，使用含DMSO去光阻液之化學品為NOx及SOx排放量逐年增加的主要原因。
註 4：空氣污染物排放量包含氮氧化物(NOx)、硫氧化物(SOx)、揮發性有機化合物(VOCs)共3種排放量總和。
註 5：揮發性有機化合物(VOCs)是由廠務單位連續監控而得。